Teile für Plasmaverfahren

Showerheads – die geben Gas

Die Gasverteilköpfe, sogenannte Showerheads, in den Plasmakammern sind während des Abscheidungsprozesses sehr hohen Temperaturen ausgeliefert. Gängiges Problem: sie verziehen sich schnell, geraten aus der Form.

Die Homogenität der Abscheidung verschlechtert sich dadurch zunehmend und die elektrischen Parameter der abgesonderten Schicht auf dem Substrat weichen irgendwann stark von den Vorgabewerten ab.

Die einzige Lösungsmöglichkeit ist der Austausch der verschlissenen Showerheads in regelmäßigen Zyklen. Die OEM-Teile von Novellus sind jedoch teuer. Wir bieten Ihnen Showerheads, die zu 100% den Originalteilen entsprechen. Und das gilt nicht nur für die technische Ausführung, sondern ebenfalls für die Abscheideergebnisse.

amcoss liefert Showerheads in 6“ und 8“für Concept 1-Kammern von Novellus mit folgenden OEM-Artikelnummern:

  • 16-033932-00
    Showerhead 6“
  • 16-033931-00
    Showerhead 8“