Teile für Plasmaverfahren

HDP-CVD Dome – Kostenreduktion inklusive

Abscheidungen, die sich an den Innenwänden des HDP-CVD Domes ablagern, zwingen nach vielen Reinigungsvorgängen dazu, den Dome gänzlich zu ersetzen oder einer umfassenden Überarbeitung zu unterziehen.

Beim Originalhersteller Novellus Systems Inc. (jetzt LAM Research) sind nur neue Teile zu hohen Preisen zu haben. Eine alternative, günstigere Reparatur wird nicht angeboten.

Zusammen mit einem Partnerunternehmen bieten wir beides: neue Second-Source-Domes für die meisten 200 mm und 300 mm Konfigurationen für die Novellus Speed Anlagen sowie ein komplettes, professionelles Refurbishment.

Bei letztgenanntem Prozess wird die Keramik-Abscheidekammer total frei gelegt – die äußere Isolierschicht, alle Kühlleitungen und alle anderen Teile werden entfernt. Die Keramikkammer wird gereinigt und die erforderliche Oberflächenbeschaffenheit wieder hergestellt. Danach wird mit neuen Ersatzteilen der Dome grundlegend wieder aufgebaut.

Beide Varianten entsprechen bis ins Detail dem Originaldome von Novellus Systems und haben somit keinerlei Auswirkung auf den Herstellprozess, sondern nur auf Ihre Kostenkalkulation: ein neuer HDP-CVD Dome von amcoss kostet mehr als 45% weniger, ein Refurbishment mehr als 70% weniger als das Originalteil.

amcoss liefert Speed Domes mit folgenden OEM-Artikelnummern:

  • 02-10387-00
    Bell Jar Assy thick refurbishment
  • 02-10387-01
    Bell Jar Assy thick new
  • 02-162351-00
    ASSY,BELLJAR,HI PWR,C2SPD-SRefurbishment
  • 02-259925-00
    ASSY,BELLJAR, HIPWR, C3 SPD
  • 02-307391-00 
    ASSY,BELL JAR,G10, C2SPD-S

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