Teile für Plasmaverfahren

Elektrostatische Chucks – Qualität zum fairen Preis

Veränderungen der Oberflächenbeschaffenheit, Verformungen durch mechanische Einwirkungen und Beschädigungen der Eloxal-Isolierung führen dazu, dass elektrostatische Haltevorrichtungen für Ätzkammern ersetzt werden müssen. Die Anschaffungskosten sind hoch, die Lieferzeiten des Originalherstellers kaum zu akzeptieren.

Wir bieten elektrostatische Chucks für die Durchmesser 150 mm und 200 mm für LAM Research 9400, 9600, Rainbow und Alliance Ätzplattformen an, die in jeder Hinsicht überzeugen: Sie erhalten einen Chuck, der in Qualität, Funktion und Design zu 100% dem Originalprodukt entspricht und somit garantiert keine Veränderung im Herstellprozess bewirkt.

Die einzigen Veränderungen, die Sie zu spüren bekommen sind die deutlich niedrigeren Preise und die schnelle Lieferung!

Das bedeutet verbesserte Produktivität, erhöhte Wirtschaftlichkeit, kürzere Reaktionszeiten und mehr Planungssicherheit.

amcoss liefert elektrostatische Chucks mit folgenden OEM-Artikelnummern:

  • 718-043893-602
    ESC 6″Alliance 4420XL Poly Etch
  • 718-043893-612
    ESC 6″Rainbow TCP9600 Alu-Etch
  • 718-043893-801
    ESC 8″ Alliance 9400/9600 PTX
  • 718-043893-818
    LAM ESC 8″  (neu)
  • 718-092326-061
    ESC TCP9600 Metal 6”
  • 718-094523-261
    ESC PTX9400 Poly 6”
  • 718-094523-281
    ESC PTX9400 Poly 8”
  • 718-094756-061
    ESC TCP9600 SE Metal  ELECTD, UPPR, 6″ ESC, MJR FLA, NEW
  • 718-094756-081
    ESC TCP9600 Metal 8”

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