Teile für Plasmaverfahren

DSQ-Heizplatten – Die sind in Form

Die DSQ-Heizplatten werden auf 280° C erhitzt – das ist eine enorme Temperatur für eine lediglich 5 mm dicke Aluminiumplatte. Nach relativ kurzer Zeit verwirft sich daher die Platte. Dieser Effekt wird durch eine Überhitzung aufgrund eingetrockneter Wärmeleitpaste noch verstärkt. Die Gleichförmigkeit ist nicht mehr gewährleistet. Die Wafer werden ungleich erhitzt und verascht.

Unsere DSQ-Platten haben im Vergleich zu herkömmlichen Heizplatten eine verbesserte, innovative Formgebung. Sie verringert und verzögert die Verwerfung spürbar. Eine wesentlich längere und bessere Homogenität der Platte mit all ihren Vorzügen ist die positive Folge.

Außerdem benutzen wir keine aufgeklebte und für Beschädigungen anfällige Heizfolie. In unseren DSQ-Platten sind die Heizdrähte komplett in der Platte integriert und somit geschützt.

amcoss liefert Heizplatten für DSQ-Kammern mit folgenden OEM-Artikelnummern:

  • 853-347146-004
    Paddle 5” THR Assy High temp
  • 853-347146-005
    Paddle 5” THR Assy High temp
  • 853-347146-006
    Paddle 6” THR Assy High temp
  • 853-347146-008
    Paddle 8” THR Assy High temp

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