Keramikteile

Spezialteile – Engineering-Kompetenz in Keramik

Keramikring

Dieses Bauteil besticht durch seinen extrem großen Durchmesser, für den spezielle Herstellungskompetenzen benötigt werden.

Material: Aluminium-Oxid-Keramik
Durchmesser: 600 mm,
Wandstärke: 12 mm
Anwendung: elektrische Isolation von Vakuumkammerbauteilen

ganzer Ring mit Lineal  halber Ring mit Lineal  ganzer Ring ohne Lineal

Flip Greifer 8“

Die Besonderheiten dieses komplexen Keramikteils sind die teilweise extrem dünnen Komponententeile sowie die schräg und winzig klein gebohrten Löcher.

Materialien: Aluminium-Oxid-Keramik und Edelstahl
Dicke: gerade einmal 0,2 mm in den ausgesparten Flächen
Bohrlöcher: 8 St. mit Durchmesser 0,9 mm gebohrt in einem Winkel von 45°
Verbindung Keramik – Edelstahl: durch Klebeverfahren
Anwendung: Handling von Wafern

Keramikteil mit Metall    Keramikteil mit Metall Detail-0,2mm    Keramikteil mit Metall Detail    Keramikteil-mit-Metall-Ruckseite

Keramikteil-mit-Metall-Detail-Locher-09mm    Keramikteil-mit-Metall-Detail-Locher-624x380    Keramikteil mit Metall Detail Loch

Keramikrohr mit Rillenstruktur im Innern

Bei dieser Komponente handelt es ich um eine Plasmaätzkammer mit sehr großen Maßen. Sehr speziell und schwer herzustellen ist die Rillenstruktur im Innern des Rohrs.

Material: Aluminium-Oxid-Keramik
Maße: Außendurchmesser 200 mm, Höhe 300mm
Anwendung: Plasmaätzkammer

Keramikrohr_liegend    Keramikrohr_innen2